2018年华中科技大学3558微纳制造技术考博大纲

华中科技大学博士研究生入学考试《微纳制
造技术》考试大纲
（科目代码：3558）
一、考试性质及对象
本课程考试是为电子封装专业招收博士生而设置，其评价标
准是高等学校硕士毕业生能达到的及格或及格以上水平，考试对
象是参加博士研究生入学考试的具有硕士学位或具有同等学力的
在职人员。
二、考试的学科范围
应考范围：微电子制造科学原理与工程技术，MEMS 制造技
术。
三、评价目标
考查考生了解和掌握微纳制造原理与工艺的能力。
四、考查要点
1．微纳制造概况
2．微电子制造技术
3．体微加工技术
4．表面微纳加工技术
5．纳加工技术
五、样题（略）