等离子体化学 （704）  课程考试大纲

一、适用报考的专业：化学工程与技术

二、题目类型：1．填空（选择）题  2．简答题  3．论述题  4．计算题

三、参考教材：

1．《等离子体化学与工艺》  赵化侨编著  中国科学技术大学出版社

2．《气体电子学》  胡志强编著  电子工业出版社

四、基本内容及要求：

    1．等离子体中粒子间的相互作用

    2．气体放电的理论基础

       气体放电的优安特性，汤生放电理论、巴邢定律

    3．重要的几种放电形式

       辉光放电，电晕放电，高频放电与脉冲放电

    4．等离子体发生方法，及等离子体性质

       等离子体的分类，等离子体发生方法

       等离子体的基本性持，等离子体诊断简介

    5．等离子体中的化学反应

       等离子体中基元反应，反应类型

       等离子体中的无机与有机合成

    6．等离子体化学工艺及应用

       等离子体化学气相沉积，等离子体浸蚀，等离子体聚合，交聚物的表面改性

    7．等离子体化学反应装置

       反应装置的基本单元