等离子体实验与诊断 （210）  课程考试大纲

一、适用报考的专业：等离子体物理

二、题目类型：1．名词解释  2．简答题  3．论述题  4．计算题

三、参考教材：

1．《等离子体加工技术》  甄汉生编著  清华大学出版社

2．《固体电子学中的等离子体技术》  钱振型编著  科学出版社

3．《气体放电物理》  徐学基编著  复旦大学出版社

四、基本内容及要求：

1．低温等离子体的产生原理与实验装置

   直流辉光放电，射频（RF）辉光放电，微波等离子体与电弧等离子体

2．低温等离子体诊断方法

   Langmuir探针（包括单探针、双探针与发射探针）

   光谱诊断法（包括发射光谱，吸收光谱与激光诱导荧光光谱），质谱诊断法，实验数据的计算机采集与处理（包括A/D、D/A、DI、DO接口与曲线拟合等基本概念）。